超精密零配件加工方法的特点是对外表层物质去除或添加的量能够作极细微的控制。但是要获得cnc超精密零件加工精度，仍有赖于精密的加工设备和准确的克制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版即使采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）举行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版必要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。

    超精密零配件加工，主要有超精密车削、镜面磨削和研磨等。在超精密车床上用通过精细研磨的单晶金刚石车刀举行微量车削,切削厚度仅1微米左右，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、外表高度光洁的零件。例如加工核聚变装置用的直径为800毫米的非球面反射镜，高精度可达0.1微米，外表粗糙度为Rz0.05微米。

     超精密零配件加工精度以纳米，甚至后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种精密零配件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。